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1958年，中国科学院科学仪器厂成立。建厂初期业务定位为全院机械加工制造中心，为我国“两弹一星”加工制造做出重要贡献。1970年，科仪厂重建，主营业务由机电加工向科学仪器研制转变。1985年，全面实施经营体制改革，中科院不再核拨行政事业费，探索企业化发展道路。中科科仪

中科科仪KYKY系列氦质谱检漏仪性能稳定，操作方便，可靠性高，其中ZQJ-3000型氦质谱检漏仪最小可检漏率为5E-13Pa∙m 3 /s。

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产品特点 节能：无摩擦，避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％ 高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速 灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求

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产品特点 紧凑型结构设计，便于集成，可以实现24VDC供电后分子泵直接运行； 低功耗、低振动、节能； 更高前级耐压，适合分析仪器行业； 可任意角度安装中科科仪

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分子泵只能用于将一个封闭腔室从分子流区域或接近分子流区域抽至更高真空;分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体;除了“N”型泵以外,其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体,“N”型泵在抽除腐蚀性气体时,必须给轴承通保护气体,且泵油 ...